D108S1 108KW直流磁控溅射电源
来源： 发布时间:2024-05-02
直流磁控溅射电源：
| 型号 | 功率 | 工作电压 | 最大工作电流 | 占空比 | 频率 | 控制方式 | 工作模式 | 机箱（柜）尺寸 | 三相交流 （380V±10%） |
| D12S1 | 12kW | 20-600V | 20A | 用户订货时选择面 1.板手动近控 2.面板手动远控 3.模拟光纤控制器 4.数字光纤控制器 |
恒流 恒压 恒功率 |
15kVA | |||
| D24S1 | 24kW | 40A | 30kVA | ||||||
| D36S1 | 36kW | 60A | 50kVA | ||||||
| D48S1 | 48kW | 80A | 60kVA | ||||||
| D72S1 | 72kW | 120A | 90kVA | ||||||
| D108S1 | 108kW | 180A | 130kVA | ||||||
| D144S1 | 144kW | 240A | 180kVA |
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