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MP4S1 4KW单极脉冲磁控溅射电源
来源： 发布时间:2024-05-02
单极脉冲磁控溅射电源系列：
| 型号 | 功率 | 工作电压 | 最大峰 值电流 |
占空比 | 频率 | 控制方式 | 工作 模式 |
机箱（柜）尺寸 | 三相交流 （380V±10%） |
| MP12S1 | 12kW | A:30-1000V B:20-750V |
A: 15A B: 20A |
80% | 40kHz | 用户订货时选择 1.面板手动近控 2.面板手动远控 3.模拟光纤控制器 4.数字光纤控制器 |
恒流 恒压 恒功率 |
15kVA | |
| MP24S1 | 24kW | A: 30A B: 40A |
30kVA | ||||||
| MP36S1 | 36kW | A: 45A B: 60A |
50kVA | ||||||
| MP48S1 | 48kW | A: 60A B: 80A |
60kVA | ||||||
| MP72S1 | 72kW | A: 90A B: 120A |
90kVA | ||||||
| MP108S1 | 108kW | A: 135A B: 180A |
130kVA | ||||||
| MP144S1 | 144kW | A: 180A B: 240A |
180kVA |
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